Author 11268703 .BY 30 сентября 2025, 08:59

Россия начала поставлять первые собственные литографы. В разработке участвовала беларусская компания

«Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) поставит первый российский литограф с разрешением 350 нм местной компании «Отраслевые решения», сообщает CNews. Разработка велась совместно с беларусским предприятием «Планар» в рамках тендеров Минпромторга, которые ЗНТЦ выиграл в 2021 году.

Оставить комментарий

«Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗНТЦ) поставит первый российский литограф с разрешением 350 нм местной компании «Отраслевые решения», сообщает CNews. Разработка велась совместно с беларусским предприятием «Планар» в рамках тендеров Минпромторга, которые ЗНТЦ выиграл в 2021 году.

Работы по литографу были завершены этой весной. Он имеет рабочее поле с площадью 22×22 мм и способен обрабатывать пластины диаметром 200 мм. Рабочая длина волны установки составляет 365 нм, срок службы — не менее 5 лет, вес — 3500 кг.

Литограф предназначен для проекционного переноса изображения фотошаблона на полупроводниковую пластину и мультипликации его на пластине при изготовлении сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) с проектной топологией 350 нм. Эти нормы используются для изготовления элементной базы в силовой и автоэлектронике, а также в промышленных системах.

Он создавался для обеспечения технологической независимости и предназначен для модернизации существующих и оснащения новых микроэлектронных производств. Сейчас идёт работа над следующим поколением литографа с разрешением 130 нм.

«Планар» был создан в 1962 году. Компания занимается разработкой и изготовлением специального технологического оборудования для сборки полупроводниковых приборов, интегральных схем, систем микроэлектроники и других электронных изделий.

«Зеленоградский нанотехнологический центр» обеспечивает полный цикл разработки и производства микросхем. Главным направлением деятельности является развитие современных технологий производства и разработка высокотехнологичной продукции совместно с ведущими российскими научными организациями и производственными предприятиями.

Компания «Отраслевые решения» была создана для локализации в России всей производственной цепочки силовой электроники, востребованной в энергетике, тяжёлом и лёгком машиностроении, приборостроении, авиации и других отраслях промышленности.